"

                    ✅乐鱼体育app|官网首页✅㊣全球最大,最信誉的线上综合平台✅乐鱼体育app|官网首页✅千款游戏,砖石级服务,乐鱼体育app|官网首页,欢迎各界玩家加入体验!

                                      "

                                      压力变送器领导品牌--江苏创辉仪表欢迎您乐鱼体育app|官网首页,压力变送器,差压变送器制造创领者乐鱼体育app|官网首页!

                                      中国优秀的压力变送器研发生产企业

                                      中国压力变送器客户最信赖品牌

                                      全国销售服务热线

                                      0517-86881563

                                      单晶硅微差压变送器

                                      • 单晶硅微差压变送器

                                      单晶硅微差压变送器

                                      品牌:江苏创辉自动化仪表有限公司

                                      单晶硅微差压变送器简介:单晶硅压力传感器的工作原理 如图1所示乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页, 单晶硅传感器的敏感元件是将P型杂质扩散到N型硅片上乐鱼体育app|官网首页,形成极薄的导电P型层乐鱼体育app|官网首页,焊上引线 即成单晶硅应变片,其电气性能是做成一个全动态的

                                      产品介绍

                                      单晶硅压力传感器的工作原理
                                      如图1所示,单晶硅传感器的敏感元件是将P型杂质扩散到N型硅片上乐鱼体育app|官网首页,形成极薄的导电P型层乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,焊上引线即成“单晶硅应变片”乐鱼体育app|官网首页,其电气性能是做成一个全动态的压阻效应惠斯登电桥乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页。该压阻效应惠斯登电桥和弹性元件(即其N型硅基底)结合在一起乐鱼体育app|官网首页。介质压力通过密封硅油传到硅膜片的正腔侧乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,与作用在负腔侧的介质形成压差乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,它们共同作用的结果使膜片的一侧压缩乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,另一侧拉伸乐鱼体育app|官网首页,压差使电桥失衡乐鱼体育app|官网首页,输出一个与压力变化对应的信号?;菟沟堑缜诺氖涑鲂藕啪缏反砗?乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,即产生与压力变化成线性关系的4-20mA标准信号输出乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页。 

                                      对于表压传感器,其负腔侧通常通大气乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,以大气压作为参考压力乐鱼体育app|官网首页;对于绝压传感器乐鱼体育app|官网首页,其负腔侧通常为真空室乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,以决对真空作为参考压力乐鱼体育app|官网首页;对于差压传感器,其负腔侧的导压介质通常和正腔侧相同,如硅油、氟油、植物油等乐鱼体育app|官网首页。  
                                      硅传感器结构图                               
                                      图1  硅传感器结构图                                                                   图2  膜片受压示意图
                                       
                                      如图2所示乐鱼体育app|官网首页,在正负腔室的压差作用下乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,引起测量硅膜片(即弹性元件)变形弯曲乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,当压差P小于测量硅膜片的需用应力比例极限σp时乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,弯曲可以全部复位乐鱼体育app|官网首页;当压差P超过测量硅膜片的需用应力比例极限σp后乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,将达到材料的屈服阶段乐鱼体育app|官网首页,甚至达到强化阶段乐鱼体育app|官网首页,此时撤去压差后测量硅膜片无法恢复到原位,导致发生不可逆转的测量偏差;当压差P达到或超过测量硅膜片能承受的ZUI高应力σb后,测量硅膜片破裂乐鱼体育app|官网首页,直接导致传感器损坏乐鱼体育app|官网首页。因此乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,通过阻止或削弱外界的过载压差P直接传递到测量硅膜片上,可以有效?乐鱼体育app|官网首页;ご衅鞯牟饬烤群褪倜钟闾逵齛pp|官网首页乐鱼体育app|官网首页。这就引出了对单晶硅芯片进行过载崩钟闾逵齛pp|官网首页乐鱼体育app|官网首页;ど杓频奈侍饫钟闾逵齛pp|官网首页乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页。 

                                      2.2 压力过载?乐鱼体育app|官网首页;ど杓坪褪迪?/span>
                                      如图3所示,为克服单晶硅硅片抗过载能力不足的缺陷乐鱼体育app|官网首页,配备了一种具有单向压力过载?乐鱼体育app|官网首页;さ牟钛勾衅?/span>乐鱼体育app|官网首页。该单向压力过载崩钟闾逵齛pp|官网首页;げ钛勾衅鞑唤瞿懿獬鱿殖」た鲈诙疃ㄑ沽Ψ段诘难共钪?,而且在发生单向压力过载的情况下还能有效地进行自我?;だ钟闾逵齛pp|官网首页乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,避免了硅差压传感单向压力过载而引起的损坏乐鱼体育app|官网首页。 
                                      带过载崩钟闾逵齛pp|官网首页乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页;さ牟钛勾衅鹘峁故疽馔? data-bd-imgshare-binded= 
                                      图3  带过载?乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页;さ牟钛勾衅鹘峁故疽馔?/span> 

                                      如图4乐鱼体育app|官网首页、图5所示乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,当有超过差压测量硅膜片允许工作范围的差压出现时乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,中心隔离移动膜片向低压一侧移动乐鱼体育app|官网首页,并使高压一侧的外界隔离膜片和腔室内壁重合,从而使得高压侧硅油全部赶入腔室内乐鱼体育app|官网首页,无法向单晶硅芯片进一步传递更高的压力值乐鱼体育app|官网首页,在单晶硅芯片上避免了超高压的发生乐鱼体育app|官网首页,有效地实现了?;さゾЧ栊酒哪康?。 
                                      硅传感器正、负过载示意图
                                      图4  正腔过载示意图                                                            图5  负腔过载示意图 

                                      这种抗过载设计方法有效的崩钟闾逵齛pp|官网首页乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页;ち说ゾЧ栊酒某て诠ぷ魑榷ㄐ岳钟闾逵齛pp|官网首页乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,尤其在有水锤现象存在的工况场合更加能够突出其优越性乐鱼体育app|官网首页。

                                      2.3 优越的量程比可调性能
                                      由于单晶硅芯片的输出信号量较大,在5V的恒压源激励下其典型的量程输出
                                      到达了100mV乐鱼体育app|官网首页,这样对于后端的电子电路和软件较为容易实现信号补偿和放大处理乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页。相比于金属电容式压力、差压变送器乐鱼体育app|官网首页,单晶硅原理的压力、差压变送器的量程比性能非常优越乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,其常用压力变送器的量程可调比达到了100:1乐鱼体育app|官网首页,微差压变送器的可调量程比达到10:1乐鱼体育app|官网首页。经量程压缩后仍能保持较高的基本精度乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,大幅拓宽了单晶硅压力变送器的可调节范围乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,对用户的应用较为方便和有意义。 

                                      如表1所示乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,3台经抽样的差压变送器经过10:1量程缩小和100:1量程缩小后的准确度考核结果。满量程为0-250kPa,压缩10倍后的量程变更为0-25kPa,压缩100倍后的量程变更为0-2.5kPa乐鱼体育app|官网首页。从实验的结果可以看出乐鱼体育app|官网首页,当压缩10倍量程比后乐鱼体育app|官网首页,其基本误差分别为0.019%乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页、0.012%乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页、0.025%,仍然能够保持由于0.05级的准确度;当压缩100倍量程比后,其基本误差分别为0.147%乐鱼体育app|官网首页、0.219%、0.197%乐鱼体育app|官网首页,其仍然可以优于0.25级的准确度乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页。单晶硅压力变送器  


                                      如表2所示乐鱼体育app|官网首页,3台经抽样的压力变送器经过10:1量程缩小和100:1量程缩小后的准确度考核结果乐鱼体育app|官网首页。满量程为0-40MPa,压缩10倍后的量程变更为0-4MPa乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,压缩100倍后的量程变更为0-400kPa。从实验的结果可以看出乐鱼体育app|官网首页,当压缩10倍量程比后乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,其基本误差分别为0.041%乐鱼体育app|官网首页、0.047%乐鱼体育app|官网首页、0.034%乐鱼体育app|官网首页,仍然能够达到0.05级的准确度;当压缩100倍量程比后乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,其基本误差分别为0.15%乐鱼体育app|官网首页、0.063%、0.153%乐鱼体育app|官网首页,其仍然可以优于0.25级准确度乐鱼体育app|官网首页。 



                                      2.4 优越的压力滞后性能 
                                      压力滞后特性也称回程误差特性乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,俗称回差乐鱼体育app|官网首页,对于压力乐鱼体育app|官网首页、差压变送器来说是一个较为重要的考核指标乐鱼体育app|官网首页?;夭畹?/span>大小直接影响到变送器的测量准确性和长期漂移性能乐鱼体育app|官网首页。如图5所示,这是一张典型的单晶硅误差曲线和金属电容误差曲线的比较示意图乐鱼体育app|官网首页。从图中可以看出乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,单晶硅原理传感器的线性误差曲线的回差极小乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,上行程和下行程几乎重合乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,其回差基本可以忽略不计乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页;而金属电容式原理的线性误差曲线的回差较大,上行程和下行程呈开口状乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,直接影响到变送器的输出精度乐鱼体育app|官网首页。单晶硅压力变送器误差曲线例图
                                      图5  误差曲线例图


                                      2.5 特有的静压特性 
                                      差压变送器在测量罐体液位或管道流量时,如果对静压影响不作校正或补偿,将会给测量带来较大误差乐鱼体育app|官网首页,尤其是在液位范围较小或相对流量较小时乐鱼体育app|官网首页,影响更巨大乐鱼体育app|官网首页。例如一台电容式差压变送器同节流装置一起组成差压式流量计乐鱼体育app|官网首页,在32MPa工作静压条件下其满量程静压误差为≤±2%FS乐鱼体育app|官网首页,虽然其零位误差,可以通过调零来消除乐鱼体育app|官网首页,但是满位输出误差无法避免。因此此静压误差直接影响流量的测试,并且影响量较大乐鱼体育app|官网首页。在这种应用工况下乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,差压变送器的静压性能显得尤为重要,如果静压误差经过补偿乐鱼体育app|官网首页,或其本身静压误差极小,则其测量精度将会得到大幅提高。 

                                      差压变送器采用特有的单晶硅芯片封装工艺乐鱼体育app|官网首页,封装以后其内腔和外腔达到压力平衡乐鱼体育app|官网首页。如图6所示为单晶硅硅片的封装示意图乐鱼体育app|官网首页,当有工作静压加载到测量硅片的正负腔时乐鱼体育app|官网首页,工作静压通过硅片外部的正腔硅油和硅片内部的负腔硅油平衡加载到测量硅片上乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,并实现了相互抵消乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,从而使得测量硅片对工作静压的弯曲变形极小。这样处理大幅提升了差压变送器的静压影响性能乐鱼体育app|官网首页。 
                                      单晶硅硅片封装示意图
                                      图6  单晶硅硅片封装示意图 


                                      而在微差压变送器的应用场合,由于微差压信号量过小,对于静压影响造成的影响非常敏感乐鱼体育app|官网首页,如上所述的特有的封装设计和工艺仍不能全部消除或减弱静压影响量乐鱼体育app|官网首页。因此针对此问题,YR-ER101的微差压变送器在其传感器的内部集成了一个可以测量工作静压的绝压传感器乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,如图7所示为YR-ER101微差压传感器的结构示意图乐鱼体育app|官网首页。此绝压传感器可以将测得的工作静压信号实时反馈给内部的微处理器,微处理器利用此工作静压坐标轴自动修正微差压输出信号乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,从而达到静压补偿的功能。通过特有的封装工艺以及加装绝压传感器后,大幅提升了CY-ER101差压变送器的工作静压性能,从而保证了差压变送器的测量准确度和高稳定性乐鱼体育app|官网首页。 
                                      单晶硅微差压传感器结构示意图
                                      图7  单晶硅微差压传感器结构示意图 


                                      2.6 特有的膜片处理工艺 
                                      相比于美国罗斯蒙特的金属电容式传感器乐鱼体育app|官网首页、日本横河的单晶硅传感器乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页、欧洲ABB的硅差压传感器等采用的隔离环膜片焊接方式乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,差压传感器采用了更为先进的无隔离环的卫生型膜片焊接方式。这种卫生型膜片焊接方式使得焊缝光滑乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,无缝隙乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,无死角乐鱼体育app|官网首页,可以满足直接焊接多种材质膜片乐鱼体育app|官网首页,如 316L乐鱼体育app|官网首页、哈氏C、钽膜片乐鱼体育app|官网首页、蒙乃尔膜片乐鱼体育app|官网首页,由于没有缝隙的存在还可以在接液面进行直接镀金和喷涂PTFE等处理工艺乐鱼体育app|官网首页。这种设计方式和特殊的处理工艺使得差压变送器的接液范围大幅延伸和拓展乐鱼体育app|官网首页,并且大幅提升了腐蚀场合差压变送器的使用寿命乐鱼体育app|官网首页。 

                                      2.7 特有的超高温远传设计和实现
                                      众所周知,压力、差压变送器中的高温远传膜盒在应用过程中,当介质温度超过350℃应用时存在着巨大的安全隐患乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,较为容易出现硅油气化乐鱼体育app|官网首页、数据失真或寿命下降等问题,这就要求应用现场的介质有一定的工作静压从而形成背压来保证膜盒的正常工作乐鱼体育app|官网首页。这样造成了压力乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页、差压变送器的远传液位测量应用范围受到了限制乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页。从采用了超高温介质的测量技术,其介质的可测量温度达到了400℃。
                                      超高温远传结构原理图 
                                      图8  超高温远传结构原理图 


                                      如图8所示为此超高温远传的结构示意图乐鱼体育app|官网首页。此超高温远传结构分为超高温充灌液和普通高温充灌液两个腔体乐鱼体育app|官网首页,两个腔体之间焊接隔离膜片乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,并在超高温充灌腔体内设一个散热杆乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页。和介质直接接触的超高温充灌液可以承受400℃的介质高温,但是超高温充灌液的粘度较高乐鱼体育app|官网首页,不适合充入毛细管进行压力传递乐鱼体育app|官网首页。因此乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,通过中间隔离膜片和普通高温充灌液腔体的压力进一步传递,可以保证压力的有限传递和快速响应。而高温热量经散热后传递到普通高温充灌腔体时温度已大幅下降乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,可以保证普通高温充灌液腔体的正常使用。这种方式拓宽了高温远传变送器的应用范围乐鱼体育app|官网首页,并提高了超高温远传变送器的可靠性和寿命乐鱼体育app|官网首页。

                                      2.8 实现性能指标和可靠性 
                                      通过以上对系列产品技术的介绍和分析,笔者简要地阐述了单晶硅高稳定性压力、差压变送器项目的实现过程乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页。制造厂商从单晶硅原理芯片的选择乐鱼体育app|官网首页、单晶硅硅片的无应力封装乐鱼体育app|官网首页、回程误差的消除乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页、静压影响的减弱乐鱼体育app|官网首页、量程比的放大乐鱼体育app|官网首页、接液面的特殊处理工艺以及超高温测量的拓展等多方面来提升高稳定性压力、差压变送器的全性能、准确度等级和可靠性。通过以上多种途径的技术引进和消化乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,并再加入新设计,使得YR-ER100系列高稳定性压力乐鱼体育app|官网首页、差压变送器达到了先进水平,其主要的技术优势表现为:
                                      1)准确度等级达到0.05级乐鱼体育app|官网首页,并取得计量器具制造许可证,达到了先进水平乐鱼体育app|官网首页; 
                                      2)微差压变送器采用特有的双过载崩钟闾逵齛pp|官网首页乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页;つてㄓ屑际?,可达±0.075%的高测量精度,*的工作静压达到16MPa,最小的测量差压为-50Pa~50Pa,先国内外技术水平; 
                                      3)差压变送器*工作静压可达40MPa乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,单向过载压力*可达40MPa乐鱼体育app|官网首页; 
                                      4)差压传感器内部可选封装绝压传感器乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,可用于现场工作静压的测量和显示,也可应用于静压补偿,使得单晶硅压力变送器的静压性能很佳乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,使得典型规格的静压误差优为≤±0.05%/10MPa乐鱼体育app|官网首页。同时乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,由于内部绝压传感器的集成,保证了YR-ER100多参数变送器的成功研发乐鱼体育app|官网首页,可广泛用于气体流量的测量领域,并填补了国内gao端多参数变送器的空白。 
                                      5)压力、差压传感器内部集成的高灵敏度温度传感器乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,使得变送器温度性能上佳乐鱼体育app|官网首页,尤为≤±0.04%/10K乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页;
                                      6)6kPa和40kPa微压力量程表压/绝压变送器可选用特有无传压损耗过载?乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页;つてㄓ屑际?乐鱼体育app|官网首页,单向过压*达7MPa乐鱼体育app|官网首页,大幅拓宽了微压力传感器的特殊领域的应用范围; 
                                      7)典型规格的长期零位漂移量≤±0.1%/3年,并通过12万次90%的量程的极限压力疲劳测试乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,达到了10年免维护的能力乐鱼体育app|官网首页; 
                                      8)实现了极宽的测量范围0-100Pa~60MPa乐鱼体育app|官网首页,ZUI高100:1的可调节量程比输出乐鱼体育app|官网首页; 
                                      9)远传变送器采用先进的超高温专有技术,可应用于400℃超高温测量场合乐鱼体育app|官网首页乐鱼体育app|官网首页,突破了远传产品应用和测量的瓶颈。 
                                      0517-86881563
                                      立即咨询
                                      客服中心

                                      客户服务热线

                                      15312307860

                                      展开客服
                                      乐鱼体育app|官网首页